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什么是光谱共焦干涉仪?

        非接触式轮廓测量技术中的测量精度通常受到机械振动和微扫描台位置不准确性的限制。 为了从这些环境干扰中解放出来,开发了一种新的对振动不敏感的干涉测量方法。采用这种新型光谱共焦干涉仪系统,干涉仪显微镜的潜在亚纳米级精度是极其有效的。
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